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Produktbild: Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

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Beschreibung

Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan,...

Beschreibung

Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

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Erscheinungsdatum

20.09.2012

Verlag GRIN
Seitenzahl

72 (Printausgabe)

Dateigröße

22603 KB

Auflage

1. Auflage

Sprache

Deutsch

EAN

9783656276203

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